PVDF花篮
PVDF 具有卓越的耐腐蚀性,可耐受半导体清洗过程中所使用的各种强酸、强碱及有机溶剂,能有效防止花篮被腐蚀损坏,延长使用寿命,确保清洗工作的稳定进行. 其二,它具备良好的化学稳定性,几乎不与清洗用的化学试剂发生反应,避免了因材料反应而产生杂质对晶圆造成污染,从而保障了晶圆的高纯度. 其三,PVDF 的机械强度较高,能够承受一定的外力和晶圆的重量,不易变形,保证了晶圆在清洗过程中的稳固放置和安全传输. 其四,其表面较为光滑,摩擦系数低,既能减少晶圆与花篮之间的摩擦,避免晶圆受到损伤,又便于清洗后的干燥处理,
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